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Home > Microscope > Union> Measuring MS > IMH
Zoom Microscope ( DZ4 l SDZ2 l DZ2IRV.IRT l IMS Series l MCB-1 l UWZ210/285 )
Measuring MS ( DH2 l IMH )
 
 

하이소메토(DH2)의 광학계를 이용한Z축측정용유닛현미경

타겟상을 맞추는 것만으로, 측정점의 표면 상태를 관찰하면서, 높이, 깊이, 단차등의 측정을 할 수 있는 하이소메트의 광학계를 소형·경량화를 도모하여, 코스트퍼먼스에 뛰어난 장치넣기용현미경유닛으로써 새롭게 개발했습니다. 이것에 의해 각종 생산설비, 실험, 연구장치와 상품의 검사·평가용넣기유닛으로서 더욱 광범위하게 상용하는 것이 가능해졌습니다.



 
이 현미경 시스템은 인덱스 계수선과 현미경 조명 광학의 시스템을 반영하는 프리즘의 구성으로 정확한 focus indicator를 제공합니다. 위와 아래 이등분이 일치하는 초점 상태에서, 초점을 맞춘 견본 이미지 위에 정확히 관찰되어질 수 있고, 약간 초점에서 빗나갔을 때 인덱스 라인은 계수선의 위와 아래 이등분 선에서 두개의 라인들로 쪼개지는 광학의 원칙에 기초를 두며 설계되어 왔습니다. 정확한 초점 포인트는 한 견본 표면의 이미지가 흐리게 되든 않든간에 판단을 하기 보다는 계수선의 위쪽 아래쪽 이등분선 안에 수직의 인덱스 라인이 정확히 양쪽 직선과 일치한다는 것을 확인함으로써 획득됩니다.

 
  • 한 초점의 포인트가 비접촉 단차광학 방법아래 간파되기 때문에 측정은 한 견본에 뒤틀 림, 강타 또는 깨진곳과 같은 물리적 손실에 영향을 받지 않으면서 이루어질 수 있습니 다.(다이어그램 1을 참조하시오.)
  • 쪼개진 타겟 방법에 기초를 둔 정확한 초점 지시기가 채택되어져 왔기 때문에 아주 정확 한 깊이 측정들이 계수선의 두 이등분선과 일치함으로써 단순히 취해질 수 있습니다.
  • 작동이 매우 간단하고 다양하게 적용하기에 가장 적절한 측정 현미경 시스템이다.
  • 한 포인트의 미세한 표면 조건을 관찰하는 동안 측정할곳의 레퍼런스 포인트와 측정의 한 포인트 사이의 위치적 관계가 확인되어질 수 있습니다. 그리고 측정이 같은 영역의 관점 에서 또한 취해질 수 있습니다.(다이어그램 2를 참조하시오.)
  • 측정 정확도는 높은 확대 대물렌즈의 사용을 통해 향상되어질 수 있습니다.(다이어그램 3 을 참조하시오.)
  • 검정 줄무늬 또는 하얀 줄무늬 타겟 마크는 견본 표면의 한 조건당 선택되어질 수 있습니 다. 세 종류의 타겟 마크 상태(검정 주무늬, 하얀 줄무늬, 그리고 아무것도 없음)가 레버 에 의해 선택되어질 수 있기 때문에 사진은 필요하다면 타겟 마크없이 찍을 수 있습니다.
  • 다양한 모델은 각각의 사용자들의 적용에 의존한 미리 보기, 측정 영역, 그리고 다른 선 택적 아이템들과 같은 다른 장비와의 혼합 적용에 의해서 형성되어질 수 있습니다.
  • DH2의 광학적 시스템을 합병함으로써 IMH(신상품)는 예외적으로 생산 라인 또는 장비로 통합되게 설계된, 최대한 가격 효율성을 가진, 더 작고 더 가벼운 현미경 단위로써 발전 되었습니다.
  • 높은 정확성, 비접촉 단차 측정과 노마스키 DIC(차별적인 간섭 대조)관찰 방법은 이 현미 경 시스템(DH2N)의 또 다른 비젼에 의해서 유용합니다.(다이어그램 4를 참조하시오.)
  • 투과성의 미러 또는 페어스킨이 레이저 시스템과 함께 표면 끝부분을 관찰하는 경우에, 초점이 흐트러지기 쉽습니다. 타겟 마크가 광학시스템의 경우에 그러한 표면에 투영되어 지는 동안에 그러한 견본 표면들의 층이 측정되어질 수 있습니다
 
 
 

DH2
IMH
Microscope Stand & Bracket
Travel Coarse Adjustable
140㎜
-
Fine Adjustable
25㎜
25㎜
Height of specimen
150㎜(Max.) using 505S stage
-
Illuminator Reflecting Illumination with Index Graticule Tungsten Lump(8V, 15W) Illumination with Index Graticule Halogen Lump(15V,150W)
Transmitted Telecentric Illumination Halogen Lump (6V, 20W) -
Z-axis measuring 1㎛ Reading, 25㎜ Travel(ID-F125) 1㎜ Reading, 10㎜ Travel(LGB-110S) 0.1㎛ Reading,10㎛ Travel(LGF-0110L) 1㎛ Reading, 25㎜ Travel(ID-F125) 1㎛ Reading, 10㎜ Travel(LGF-0110L)
Z-axis measuring Accuracy 3σ=1㎛(using 40X Objective) 3σ=1㎛(using 40X Objective)
Viewing Head
Erected Binocular Monocular with TV C-mount Tube Observation is only for CCD camera
Erected Trinocular Binoculal with TV C-mount Tube
Objective
PLM10X N.A. 0.20, W.D 12.0 ㎜
Eyepiece NWF 10X
NWF10X Field Number ∮16㎜ with Offset Hair Line Crossed Reticle -
Measuring Stage
 

505S(*1) 505L 510 510D 100D(*1)
Space for Specimens ∮118㎜ ∮170㎜ 280X190㎜ 280X190㎜ ∮206㎜
Size of Stage Glass ∮100㎜ ∮100㎜ 170X120㎜ 170X120㎜ ∮179㎜
Travel(X-Y) 50X50㎜ 50X50㎜ 100X50㎜ 100X50㎜ (with Linear Scale) 100X100㎜ (with Linear Scale)
Measuring Accuracy X: (4+0.02L)㎛, Y: (4+0.02L)㎛, L: Travel Distance(㎜)
Rotation Angle 360° 360° -(*2) -(*2) 360°
Stage Size 150X150X45㎜ 205X205X95㎜ 285X205X95㎜ 285X205X95㎜ 244X244X83㎜
 

Hisomet(DH2/IMH)은 반도체, MEMS, 매그네틱 헤드, 전자성분, 정밀부분과 같은 다양한 산업분야에서 그것의 정확한 측정을 사용자들에 의해서 높이 평가받아 왔습니다.


 

DH2/IMH는 다음의 대물렌즈와 함께 사용되어질 수 있습니다.

<Plan Objectives (PLM 시리즈)>
뒤틀어진 분야 안에서 탈선이 수정되어지는 대물렌즈입니다.
초점은 어떤 주어진 위치 위에서 맞춰질수 있습니다.

<Long Working Distance Objective(PLLWDM 시리즈)>
PLM 시리즈의 long distance 버전. 고배율의 관찰은 이 타입의 대물렌즈와 함께 용이하게 작업을 할수 있습니다.

<Plan Apochromat Objectives(SPLM 시리즈)>
이 대물렌즈는 Plan Objectives와 Apochromat Objective 양쪽의 강점들을 가지고 있습니다.

<Glass Corrected Objective(PLLWDC 시리즈)>
이 는 유리 아래 시료를 관찰하기 위해서 사용되어집니다. (LCD 회로기판 등등)
유리 두께에 의해서 조정할 수 있습니다.
PLLWDC20X는 글래스 0-2.5mm 두께에 적용할 수 있습니다.
PLLWDC40X는 글래스 0-2.0mm 두께에 적용할 수 있습니다.

Item N.A W.D(mm)
Afocal Corrected Dbjective
Plan Objective(∞) PLM3X 0.075 8.5
PLM5X 0.10 19.0
PLM10X 0.20 12.0
PLM20X 0.40 2.7
PLM40X 0.35 0.90
PLM100(Dry) 0.90 0.28
Long Working Distance Objective(∞) PLLM3X 0.075 29.5
PLLWDM10X 0.20 24.3
PLLWDM20X 0.40 11.2
PLLWDM40X 0.50 10.0
PLLWDM100X 0.73 5.0
Plan Apochromat Objective(∞) SPLM5X 0.12 9.0
SPLM10X 0.25 9.5
SPLM20X 0.40 2.9
SPLM50X 0.75 1.5
SPLM100X 0.90 1.0
SPLM50X 0.95 0.2
SPLM250X 0.95 0.3
0Special Objective
Glass Corrected Objective PLLWDCM20X 0.40 11.2
PLLWDCM40X 0.50 10.0

 
DH2/IMH는 자동 포커싱 단위로 구비되어질 수 있습니다. 그리고 인간 기술에 대한 의존을 감소시키고 객관적인 측정을 가능하게 합니다.
작동기 사이에서는 어떤 불일치도 일어나지 않습니다. 높은 정확함과 반복적인 측정이 가능합나다.

 

ID-F125

   ID-F125는 저렴한 가격의 Z axis 표시기입니다.
   만약 허용한계 범위안에서 획득된 가치가 떨어진다면 판단이 가능합니다.
   허용한계 범위안에서 적절한 값이 나오지 않을 경우에, LCD스크린의 검은 빛이 빨갛게 바뀔것입니다.
   ID-F125는 ABS(절대적 시스템)를 사용합니다. 파워스위치가 ON 으로 바뀌는 시점에서 자동적으로 결정되어집니다.
   최소 측정 단위:1um

LGF-0110L/EF-11PRH
   최소 측정 단위는 0.1um 입니다.
   RS232C 출력 단말기와 함께 나옵니다.
   카운터의 크기는 144 X172cm(DIN 크기) 입니다. 장비/시스템으로 쉽게 통합되어질 수 있습니다.

LGB-110S/KC-13R
   KC-13R은 RS232C 출력 단말기와 같이 3축 (XYZ) 카운터입니다.
   세상에서 가장 작은 사진 검파기를 사용합니다. 굉장히 정확한 측정이 행해질 수 있습니 다.
   쉬운 작동, 다양한 기능들.
   최소 측정 단위:1um

 

AT-112/KC-12R

- KC-12R은 RS232C 데이터 출력 단말기와 함께 X/Y 축 카운터입니다.
   리니어 게이지 AT-112와 함께 Stage에서 같이 사용됩니다. (510D/100D/150D/200D)
- 높은 정확도. 간단한 작동.
- 최소 측정 단위:1um

디지털 카운터 단위:DM50-21R/DM50-22R
- 각각의 단위는 Digital Micro Heads(2pcs for X&Y)와 두개의 축 디지털 카운터로 구성됩니다. RS-232C 데이터 출력
   단말기와 함께 나옵니다.
- DM50-21R: 1um reading, 50mm X50mm travel.
- DM50-22R: 0.2um reading, 50mmX50mm travel.
- 최소 측정 단위:1um

 

No.9373281/Control Unit
- 이것은 프린터와 함께 사용을 합니다.
   카운터의 리세팅을 포함하는 작동들, 프린터 명령의 전송, 샘플 번호의 변화 등등은 이 조절 단위와 함께 행해질 수
   있습니다.

No. 965004/Foot Switch
- 프린터와 다른 외부 장비의 스위치를 켜고 끄는 것을 위해 사용되어집니다.

DPU-414/Printer
- 카운터 위에 지시된 X/Y 위치를 프린트 합니다. (Foot Switch는 이 프린터의 작동을 위 해 요구됩니다.)

DP-1VR/Printer
- 측정 결과의 프린팅과 행해지는 다양한 계산들을 위해서 설계되었습니다.
   측정 데이터로부터 프린팅 뿐만아니라 복잡한 통계적 계산, 히스토그램, D-챠트 그림 등등 을 포함해서 다양한
   타입의 진보된 기능들을 가지고 있습니다.
- RS232C 출력 단말기와 함께 나옵니다.
- 높은 속도. 낮은 소음.

 


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