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Home > Microscope Automation > Proscan > Upright > H116
Proscan
Inverted   (H117 l H107)
Upright    (H101a l H138a l H105 l H112 l H116 l HT5050 l HT1010 l HT1111)
Controller (H30 l PCI II)
 

  • Suitable for most major brand microscopes.
  • 1um or better repeatability
  • Quiet and reliable
  • Wide range of sample holders.

H116 stage는 8inch (200mm) wafer 그 밖의 큰 샘플드을 쉽게 수용하며 semiconductor wafer, photo masks, flat panel displays, printed circuit board 등의 넓은 영역의 스캐닝을 완벽하게 수용할 수 있습니다.


Travel range 254 mm X 205 mm
Minimum step size 0.04 um
Max load 25 kg
Max Speed 60 mm/s


The H116 range is suitable for the following Microscope:
Nikon Eclipse L200


H116 stage 고배율에서 부드러운 움직임을 위한 2mm pitch의 ball screw option과 빠른 이동을 위한 5mm 의 ball screw option 을 선택할 수 있습니다. Linear , Rotary encoder는 모든 H116 stage에 설치가 가능합니다.

Ball screws   2mm 5mm
Motors 200 step  
Rotary enconders  2000* Counts per revoltion 4000 Counts per revolution  
Linear Encoders 0.5um  0.1um* 0.05um
* Standard option

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