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- Suitable for most major brand microscopes.
- 1um or better repeatability
- Quiet and reliable
- Wide range of sample holders.
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H116 stage는 8inch (200mm) wafer 그 밖의 큰 샘플드을 쉽게 수용하며 semiconductor wafer, photo masks, flat panel displays, printed circuit board 등의 넓은 영역의 스캐닝을 완벽하게 수용할 수 있습니다.
| Travel range |
254 mm X 205 mm |
| Minimum step size |
0.04 um |
| Max load |
25 kg |
| Max Speed |
60 mm/s |
The H116 range is suitable for the following Microscope:
H116 stage 고배율에서 부드러운 움직임을 위한 2mm pitch의 ball screw option과 빠른 이동을 위한 5mm 의 ball screw option 을 선택할 수 있습니다. Linear , Rotary encoder는 모든 H116 stage에 설치가 가능합니다.
| Ball screws |
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2mm |
5mm |
| Motors |
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200 step |
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| Rotary enconders |
2000＊ Counts per revoltion |
4000 Counts per revolution |
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| Linear Encoders |
0.5um |
0.1um＊ |
0.05um |
* Standard option
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Inverted (
