 |
- Suitable for most major brand microscopes.
- 1um or better repeatability
- Quiet and reliable
- Wide range of sample holders.
|
H112 stage 는 광범위한 semiconductor wafer, photo masks, flat panel display, printed circuit board 등에 적합한 stage입니다. 또한 H112는 250 X 250mm 의 투과 영역의 적용에 사용될 수 있습니다.
| Travel range |
305 mm X 305 mm |
| Minimum step size |
0.04 um |
| Max load |
25 kg |
| Max Speed |
60 mm/s |
H112 stage 고배율에서 부드러운 움직임을 위한 2mm pitch의 ball screw option과 빠른 이동을 위한 5mm 의 ball screw option 을 선택할 수 있습니다. Linear , Rotary encoder는 모든 H112 stage에 설치가 가능합니다.
| Ball screws |
|
2mm |
5mm |
| Motors |
|
200 step |
|
| Rotary enconders |
2000＊ Counts per revoltion |
4000 Counts per revolution |
|
| Linear Encoders |
0.5um |
0.1um＊ |
0.05um |
* Standard option
|
Inverted (
